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德国Thyracont图拉特VSL53D/54D真空表变送器Smartline
编号:VSL53
品牌:德国图拉特 [查询该品牌全部商品] 单位:个 积分:0 重量:0 克 代理; 德国数字真空变送器VSL是专门为负载锁定而开发的。金属密封的真空测量设备采用了多传感器技术,并将两个压电传感器与一个皮拉尼传感器结合在一起。因此,测量的绝对压力在1200…1e-4 mbar(1200mbar-0.0001mbar)范围内,相对于环境的相对压力在-1060…+340 mbar范围内。
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德国Thyracont图拉特VSL53D/54D真空表变送器Smartline
数字真空变送器VSL是专门为负载锁定而开发的。金属密封的真空测量设备采用了多传感器技术,并将两个压电传感器与一个皮拉尼传感器结合在一起。因此,测量的绝对压力在1200…1e-4 mbar范围内,相对于环境的相对压力在-1060…+340 mbar范围内。
概述用于负载锁的VSL真空变送器:
集成的多传感器系统:两个压电传感器测量绝对压力和相对压力,以监视腔/闸的泵送和通风过程。Pirani传感器的测量范围高达10 mbar,可控制负载锁和处理室之间的低压传递,以实现最佳的处理纯度。
简而言之:差压输出可精确触发开门功能
精确:高精度,最佳分辨率和出色的稳定性
快速:响应时间短,高达40毫秒
稳定的测量值:得益于优化的温度补偿
与气体类型无关:20 mbar以上的测量与气体类型无关
继电器开关点:两个独立的无电势继电器开关点
概述Smartline真空变送器:
大量的接口选择:数字RS485接口加上0-10 V输出信号,EtherCAT或Profinet。此外,蓝牙适配器SLKBT支持无线通信
可更换的传感器头:带有存储的校准数据的可轻松更换的更换传感器头
调节简单:只需按一下按钮或通过界面即可调节零压力和大气压
LED:用于状态显示和切换点
可扩展的输出特性:0-10 V输出信号可以根据所需的特性进行缩放。
因此,与制造商无关,可以轻松地进行现有真空规的更换,而无需进行编程工作。
如果要保留电缆但要更换变送器,则可以使用适配器(例如FCC68)。
适用于超高压:由于采用金属密封的不锈钢测量元件,适用于超高压(氦气泄漏率<5e-10 mbar l / s)
坚固:耐腐蚀,符合EMC标准的金属外壳,防护等级高达IP54
控制器:可以通过2通道控制器VD12或4通道控制器VD14进行扩展
VacuGraphTM Windows软件:用于可视化,分析和存储测量数据
测量原理 |
传热皮拉尼,压阻 |
气体类型依赖性 |
取决于气体类型,与气体类型无关(压电) |
测量范围毫巴 |
1200-1e -4 mbar(1200mbar-0.0001mbar),相对压力:-1060 ... +340 mbar(取决于环境压力) |
测量范围托 |
900-1e-4托,相对压力:-795…+255托 |
最大过载 |
4个绝对吸收 |
准确性 |
1200-40毫巴:0.3%fs | 40-2e-3 mbar:10%fr,相对压力:测量范围的0.25% |
重复性 |
1200-40毫巴:0.1%fs | 40-1e-2毫巴:2%fr |
真空接触材料 |
不锈钢1.4307,钨,镍,玻璃,金,氧化硅 |
反应时间 |
40毫秒 |
工作温度 |
+ 5 ... + 60°C |
储存温度 |
-40 ... + 65°C |
烘烤温度 |
法兰上最高125°C(关闭电源) |
电源供应 |
20至30 VDC |
能量消耗 |
最大2.5 W,对于EtherCAT /继电器/ LCD为0.8 W,另外为Profinet为1.6 W |
输出信号SL |
0-10 VDC,最小10kΩ,测量范围1.5-8.58 VDC,对数 除了EtherCAT,Profinet |
串列介面 |
EtherCAT,Profinet,RS485:9.6 kBd至115 kBd,8个数据位,1个停止位,无奇偶校验EtherCAT,Profinet |
切换输出 |
2个继电器,无电势,50 VAC / 2 A或30 VDC / 2 A,最大60 VA,EtherCAT和Profinet除外 |
电气连接 |
RS485 / 0-10V:SubD,15针,公头,RS485 / EtherCAT / Profinet:1x M12 A / 2x M12 D母头 |
真空连接 |
DN 16 ISO-KF(VSL53),DN 16 CF-F(VSL54) |
防护等级 |
IP40,IP54,带配套连接器XB15SL05 |
方面 |
99 x 69 x 48毫米(VSL53) |
重量 |
195克(VSL53) |
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